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作者 | 顾文军 芯谋市场信息咨询（上海）有限公司
摘要：2017 年 11 月 2 日，美国纽约东区地方法院对中微半导体 AMEC 的托盘供应商 SGL 做出初步禁令，禁止 SGL 给中微半导体提供 MOCVD 系统的所需要的晶圆承载器部件。这项禁令实际上就卡死了中微半导体关键产品的关键部件的来源。这将导致中微 MOCVD 设备无法出售。而目前中微的多家核心客户将因缺少此耗材——基片托盘而被迫停产。
关键词：中国集成电路；专有权；诉讼案；VEECO；AMEC；SGL
1 引言
随着中国半导体产业的快速发展，全球半导体产业竞争已经进入到在各个市场领域全面展开的新时代，国际半导体业者也面临着以中国企业为代表的后进者的强力挑战。“知识产权”和“法律诉讼”向来都是国际巨头在产业竞争中的堵截后进者杀手锏，随着国内企业对知识产权的重视和应对法律诉讼经验的积累，这类诉讼手腕也开始“升级换代”。
最近原全球 MOCVD 领先的设备厂商 VEECO在中微半导体 AMEC 强有力的竞争下，绕开中微起诉了中微的供应商 SGL。指桑骂槐、项庄舞剑，这一新的诉讼手段值得业界重视。这一在美国纽约东部地方法院的起诉，在没有判定 VEECO 的 MOCVD 反应器基底托盘的专利是否有效和中微托盘的设计是否侵权之前，美国法院就对 SGL 给中微供货实施了初步禁运。这是在业界极少见的，特别是在 SGL 并不知晓他们做的中微托盘有侵权的问题，并不是故意的侵权的情况下，实行禁运是前所未有的[1]。
MOCVD（金属有机化合物气相沉积）设备是 LED 芯片外延生长的核心关键设备，是国家战略性产业核心装备。过去 20 年来，全球仅美、德、日三国掌握该设备的制造技术，并对中国采取严格的技术封锁和管制。过去我国所有 LED 芯片生产的 MOCVD 设备全部依赖进口，LED 产业的核心环节严重受制于人。而且国内不少地方政府给 LED 公司购买美国和德国的 MOCVD 设备给予相当高的补贴，以促进 LED 产业的发展。 经过多年的自主研发和不懈努力，中微半导体不仅实现了 MOCVD 设备的国产化，打破了国外的垄断，中微开发的第二代超大型的 MOCVD 设备凭借部分比美国和德国设备更先进的设计以及更周到的客户服务，于最近一年内成为国内市场上的主流产品，并依靠自身强大的研发能力引领着最新技术的发展方向。
然而，当中微在市场上节节胜利之时，迎来了产业竞争中似曾相识的诉讼案件。2017 年 11 月 2 日美国纽约东区地方法院对中微半导体的托盘供应商 SGL 做出初步禁令，禁止 SGL 给中微半导体提供 MOCVD 系统的所需要的晶圆承载器部件。这项禁令实际上就卡死了中微半导体关键产品的关键部件的来源。这将导致中微MOCVD 设备无法出售，而目前中微的多家核心客户将因缺少此耗材——基片托盘而被迫停产，最终影响的是国内 LED 芯片产业未来的发展。
2 兵来将挡，水来土掩
中微正在采取积极主动的手段予以应对。实际上，中微在多年的 CVD 和 MOCVD 设备的开发中已积累了相当数量的专利技术，有些早已走在 VEECO 的前面。据悉 VEECO 已在某些方面侵犯了中微的专利，特别是在托盘和转轴的锁定方面 VEECO 设计明显的侵权。近期中微已展开了种种的反击：一方面在中国、韩国和美国的专利局申诉 VEECO 在 2001 年的 MOCVD 反应器专利无效（由于从 1966 年的 50 年以来，有大量的前置相似专利，VEECO 用来发起诉讼的专利显而易见的是无效的）。另一方面在福建高级法院告诉 VEECO 的托盘和转轴的锁定专利明显侵权。
细细梳理 VEECO 和中微案件的进程，诉讼和争辩来往不断，开始 VEECO 气势汹汹，但随着时间的推移，中微逐渐占据上风。
2017 年 4 月 12 日，VEECO 美国在美国纽约法院起诉中微托盘供应商 SGL 专利侵权，涉及无基座反应腔及托盘技术。
2017 年 11 月 2 日，法官在未能有机会全面了解专利无效证据、未对涉案专利有效性和中微基片托盘是否真正侵权作出明确判断的情况下，极其罕见地发出了禁止 SGL 给中微提供托盘的临时禁令。事实上，涉案专利技术早在 60 年代开始就被大量前置专利公开，应属无效专利。
2017 年 5 月 3 日，针对美国涉案专利在中国的同族专利，中微向国家专利局复审委提交证据，主张专利无效。2017 年 12 月 18 日，国家专利局举行口辩审理。
2017 年 8 月 14 日，针对美国涉案专利在韩国同族专利，中微也向韩国专利局提交证据，主张专利无效。目前，VEECO 一再延期答辩。
2017 年 12 月 8 日，中微针对美国涉案的托盘专利，在美国专利局也提起无效申请。
2017 年 7 月 13 日，中微在福建高院起诉 VEECO上海的 EPIK 700 系列产品侵犯中微第 CN202492576 号专利，主张一亿元人民币以上的侵权赔偿。
2017 年 8 月 21 日，VEECO 在上海对中微涉诉专利向中国专利局提出无效申请，另有一位自然人也对该专利提无效。针对两个请求，专利复审委分别开庭审理，于 2017 年 11 月 24 日驳回请求，确认中微专利有效。
2017 年 12 月 7 日，福建高院针对 VEECO 上海发布禁令，禁止 VEECO 上海进口、制造、销售或许诺销售侵犯中微第 CN202492576 号专利的任何 MOCVD设备和相关基片托盘。禁令涵盖 TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和 EPIK 700 C4 机型及相关基片托盘。禁令立即生效执行，不可上诉。中微认为 VEECO 的EPIK 868 机型也侵权使用了中微涉案专利技术。
2017 年 12 月 21 日，福建法院开庭审理 VEECO 侵权案。
8 个月的纠纷时间内，双方你来我往，有胜有败。究竟最后结局如何，我们密切关注后续进展。但除了案例本身，在复盘整个纠纷流程的时候，能发现一些海外企业“对付”中国后起之秀的新手腕、新策略，值得我们警惕。
时机的选择。SGL 制造此类托盘已有 20 年的历史，在给中微供货前一直给多个公司供货。中微采用 SGL 的托盘也为时已久了。VEECO 早就“心知肚明”。假如 VEECO 认为这种采购是侵权的，早就可以发起诉讼了，那么为什么过去没有采取行动，而是现在发起诉讼？这背后的故事其实和侵权无关，完全和市场竞争相关。
中微半导体于 2010 年进入 MOCVD 设备领域，经过不懈的努力，于 2016 年下半年推出了第二代Prismo A7。与 VEECO 的设备相比，Prismo A7 具有更好的性能、更高的输出量和更低的成本。业内罕见的，在半导体设备方向中国不再是跟随，而是引领了技术的发展。
市场占有率方面的进展也是飞速。自 2016 年至2017 年，中微在 MOCVD 领域飞速发展，目前在中国国内市场已有超过 70% 的占有率，超过 VEECO 成为当仁不让的“带头大哥”。再加上国内 MOCVD 市场需求持续强劲，中微的业绩持续飘红。此消彼长，中微的异军突起，对该市场原来的绝对领跑者——VEECO 构成极大的威胁。形势比人强，并且在中国客户处，VEECO 的报价已经低于中微半导体的初始报价。可以说无论技术还是价格，VEECO 已无法直接与中微半导体对抗。如此背景、如此市场、如此时机，VEECO 择机发难，时机、策略拿捏的如此恰巧，背后颇有深意。VEECO 没法用商业竞争的手段取胜，转而用法律和知识产权手段去图谋，甚至不惜去起诉中微的供应商。
这次诉讼也给我们业界人士敲响了另外一个警钟。过去的诉讼中，往往我们中国本土产业是跟随方，是借鉴方或者是抄袭方，海外的企业因为中国产业露出了“萌芽”而试图将我们扼杀在“摇篮”里，要么是用诉讼拖垮国内企业，要么是吓唬客户让中国企业面临订单饥荒。现在时移世易，经过多年的发展，在某些特定方向上中国已经改变了低价、低端的形象，中国不再落后而是引领。而国际公司是因为竞争不过而采用诉讼进行压制，是新的“玩法”和新的“手腕”。据说除了诉讼 SGL 外，VEECO 还给其他的托盘供应商发出了警告，以法律诉讼为要挟，不允许其给中微及中微客户提供该关键耗材，否则也要对他们提起同样的法律诉讼。这已不仅仅是一个知识产权纠纷的问题，而是一套组合拳，是 VEECO 用来挽回在市场败局的伎俩。
为什么诉讼 SGL，而不是直接诉讼中微，这是一场策划已久的计谋。
3 项庄舞剑，意在沛公
选择诉讼标的很有深意。SGL 本身是德国公司，但 VEECO 选择在美国诉讼 SGL 的美国子公司。且诉讼供应商，这是一个新的手段。由于针对性的专利储备可能没有中微此类专业 MOCVD 公司充足，SGL 反击 VEECO 的能力可能远不如中微。
选择诉讼战场也是颇有深意。中国是法制社会，中国对知识产权的尊重与日俱增，在此环境下VEECO 不来中国诉讼，是希望借助主场作战的优势在美国打迂回战，其意味颇为深长。
在适合 VEECO 的战场选择一个可以轻松攻击的对手，确保专利大棒可以一击致命，精准选择核心配件以确保制裁可以通过“配件厂—设备厂—终端客户”的产业链传导到最终的客户，直接伤害中微的信誉和供应能力。整体的布局，真可谓绞尽脑汁、谋划已久、煞费苦心。
临时禁运，美国的判决很仓促，也很不公正。在专利案件中，初步禁令是很罕见的，因为在陪审团对专利侵权作出判决之前颁布禁售令有非常严格的法律要求。同时，临时禁运在美国也是比较罕见的，往往被用来作为商业及政治筹码。
从诉讼开始到结案时间十分短，从开始诉讼的 2017 年 4 月 12 日到裁决禁运的 2017 年 11 月 2日，总计才 6 个月就进行宣判，既没有反复的论证是否 VEECO 专利是有效的、是否中微的托盘设计真正侵权，也没有给予被诉讼方足够的搜集证据和反诉的时间。如此高科技的专业纠纷、如此仓促的审判、如此严厉的处罚，在美国司法上也实属罕见。
其实诉讼远未到水落石出的境地，中微已上诉到最高巡回法院，按照美国的法律，当被告实在不知晓侵权，又不是故意侵权的情况下，是不能实施禁运的。如果最高巡回法院客观的复审，初步禁运应该被搁置和取消。但是目前形势对中微及国内LED 生产企业非常严峻，虽然该裁定可上诉，但上诉期内仍然要执行禁止令。等于事情尚未落地，企业预先就要承担等同于败诉的损失。的确不公平！但是规则是美国制定的，中国企业也必须要在该框架内应对。
4 多方策略，积极应对
对于一般的半导体公司，面临如此晴天霹雳似的诉讼的禁运，可能就此垮掉或者一蹶不振。但是中微半导体从成立伊始就带着很强的国际色彩，国际化的团队、国际化的客户、国际化的法律团队。事实上中微打过多年国际官司，过去在多次与美国 Applied 和 LAM 的多年官司交锋中，都没有失败过，对国际诉讼有很强的经验和技术准备。敌人已经上门，中微应积极应诉，策略应对。
第一个战场是美国司法界。由于本次被诉讼的对象是 SGL 而非中微，建议中微应该抖擞精神，聘请专业的律师团队，配合 SGL 一起准备应诉，以图在美国司法战场上扳回这一局。此局过后，中微连战Applied、LAM、VEECO，后续的产品化之路和市场之路会顺畅很多。
另外一个战场将会是中国司法系统。中微在进入此领域时就非常重视知识产权，面临这种发难有足以反击之力。早在 2013 年就在知识产权局的指导下，开展了“高端 MOCVD 设备研发及产业化”知识产权评议项目，针对 VEECO 所有专利作过认真分析、分级和风险评估，针对高风险专利做过准备。同时在关键专利布局（包括 VEECO 诉 SGL 的涉案专利）进行了一系列策略性的“反布局”专利申请，其中一个“反布局”专利申请被中微成功用于起诉 VEECO专利侵权：VEECO 在中国大量销售的 EPIK 700 产品上使用了中微有专利权保护的关于石墨转盘和转轴锁定同步的技术，侵犯了中微的专利权。作为反制手段，中微已向福建高院提起针对 VEECO 的专利侵权诉讼，在 12 月初，福建省高院禁止了 VEECO 上海进口制造和销售侵犯中微专利的设备和托盘，取得了阶段性的反制成果，恭喜中微。
本案给中国产业带来的思考：中国的高科技公司必须重视知识产权的建立和严格的管理。
中微之所以在多年的知识产权的法律纠纷中一直处在主动的地位和保持不败的记录，主要是和公司严格的知识产权管理制度有关。中微从建立的时间起就建立了一整套知识产权管理的严格制度。每一个到公司工作的员工，特别是曾在竞争对手公司工作过的员工必须签署严格的保密协议，承诺不带来任何前公司的技术资料和商业机密。公司对竞争对手的几千个专利进行了广泛和深入的分析和研究，确保自己的设计不违反任何前置专利，如果有容易难辨真伪的地方都要经过严格的论证和确保对方专利无效的无可争辩的证据。对竞争者可能采取的专利诉讼点进行预先的充分准备，不打无把握之仗。同时在发明创造和设计新产品时，及时的申请专利和专利系列，使自主创新的技术得以保护。在短短的十多年，中微已申请了一千多个专利，并多数得到各国的认证。假如中微没有严格的知识产权的管理制度，就很难在国际激烈的商业的竞争中发展，在本次诉讼中面临的出境也是尴尬和堪忧的。
5 中微的反击有非常重要的产业意义
多年来，由于中国公司还很弱小，国际公司通过法律手段，常常轻而易举的就可以制裁中国公司。但中微在这场专利官司上，越战越强，中国的法院也敢于主持公道，第一次对原来急需进口的高端设备竟然敢于禁运，这个事件标志着我国高端设备产业发展的一个转折点。过去，国际大公司通过市场竞争的手段可以轻轻松松击败中国公司，那时候的商战十分简单。现在有些方面中国已经站起来了，从能力上也超过了海外同行，于是海外对手加强使用各种手段进行打击。中国的产业也面临一个越来越复杂，越来越挑战的格局，此类冲突未来可能还会有很多。但可以预期中国的企业会在这种逆境中越战越强。
最近，业内弥漫着一种声音，认为公司在中国，市场在中国，就不会受到海外诉讼的风险。但是其实风险依然存在且无可避免，诉讼也许不会直接攻击你，而是攻击到你的客户、你的供应商甚至是你的代理，摧毁的是企业的声誉和品牌。这次禁运风波，也提醒了我们业者，凡事预则立，不预则废，中国的半导体公司要重视专利、重视知识产权、重视无形资产的积累，针对任何可能的诉讼和专利大棒，要筹备在前面。居安思危,才能谋求长治久安,吸取前车之鉴,方能防患于未然。同时在可能的情况下，中国的公司也不仅仅要被动防守，更应该主动出击。
6 结语：和解是最佳的解决途径
VEECO 和中微，都是 MOCVD 产业领域领先的企业。两方都有自己原创的 IP，原创的专利，也都有自己的产品护城河。在目前纠缠难分难解、诉讼你来我往的格局下，于双方皆无好处。打来打去，一场混战下来，不但双双业务受损，最重要的是使客户和供应厂商受到伤害，反而是白白便宜了律师。解决问题的最佳也是唯一途径，就是退一步，进行和解，也避免因为某些特定产品的一时之争，而造成对两个企业的损害。我们希望双方把精力放到不断开发新产品，不断改进现有产品，不断给客户更好的服务上去。正像中微董事长兼 CEO 尹志尧博士在中微的新闻发布中讲的：“我们更愿意集中精力在创新产品的研发和为客户提供优质服务上，而不是浪费时间和资源在法律诉讼上。因此，我们完全愿意和 Veeco 达成有利于双方的解决方案并努力实现这一目标。”
我们祝福中微，希望能看到中微最后能用自己的实力争取来属于自己的市场和权益，也希望双方审时度势，在恰当的时机，选择对客户、企业本身伤害最小的方式化解目前的纷争。
参考文献
[1] 顾文军.评VEECO针对中微半导体设备公司的供应商SGL的诉讼案[EB/OL].https://mp.weixin.qq.com/s/ghupXZbEGQSjmAALizYEvg